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苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
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全自动石英管清洗机(非标设备)
(2008/04/19)
全自动石英管清洗机(非标设备)
概述:本设备为浸泡式清洗机,用于扩散炉等设备的石英
管,碳化硅管清洗。
⑴整台设备采用德国磁白色聚丙板(PP)搭配德国焊接设
备焊接而成;
⑵设备分为两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,
内外槽均装在隔离槽内,与底部和周围隔离;
...
刻蚀机 (半/自动 )(非标设备)
(2008/04/19)
刻蚀机 (半/自动 )(非标设备)
适用于2″―8″硅片的腐蚀 。本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转
换由进口SEW驱动 。
1.概述:清洗对象:晶片
⑴超声清洗,加热清洗为单槽定时控制,到时给予结束提示
音。
⑵工艺过程:上料→支离子水超声清洗→去离子水加热清洗→去
离子水冲洗→ 下 料 ...
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