液晶－显影设备(非标设备)
1．设备概要
为达到均匀显影的效果，本设备通过SlitSW进行显影，然后通过
Swing SW加强显影效果，最后使用喷淋和风刀去除液体。须根据
液体中的光刻胶含有率情况，定期更换液体。
2．设备规格
（1）处理对象：STN液晶用玻璃板
（2）处理目的：光刻胶显影、干燥
（3）对象尺寸等：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、
1.1mm
（4）篮子规格：贵公司提供
（5）基板传送方向：从左到右，或从右到左
（6）设备外形尺寸：约7270×1400×1650mm
（7）干燥重量：约4200Kg
（8）基板传送高度：从地面至基板下面为900mm
（9）传送方式：水平枚叶式传送方式
（10）传送滚轮间距：基本为80mm
（11）处理时间：标准17秒/块，标准传送速度约2.1m/分钟
（12）启动准备时间：启动后约60分钟
3．外供电源
（1）主机：3相，380V，50Hz，约30kWA
（2）合计：约30kVA
（3）纯水用量：约32L/min，0.15Mpa G，电阻值10MΩ/cm以上
（4）冷却水用量：约0L/min
（5）空气用量：约2100NL/min，0.4～0.5Mpa G，洁净干燥气
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