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> 显影机
[Updated: 2008/04/19] |
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显影机
1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显
影和定影,该产品技术先进、一致性强,适用于规模生产。
2.整台设备材料均为进口。
3.本设备为双排槽构成,每排7槽,各设一套机械手,两
排可独立同时完成相应的工序。
4.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动
完成。
5.每槽装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)。
6.工作区洁净度:100级。
7.槽间工艺转换时间:Tm ax≤3.5S
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